| 摘要 |
<p>본 발명에 따른 도금 조형물 제조용 포지티브형 감방사선성 수지 조성물은, (A) 산에 의해 해리하여 산성 관능기를 발생하는 산 해리성 관능기를 갖는 구조 단위와 가교 구조를 갖는 중합체, (B) 감방사선성 산 발생제 및 (C) 유기 용매를 함유하는 것을 특징으로 한다. 이 포지티브형 감방사선성 수지 조성물은, 감도나 해상성 등이 우수함과 동시에 기판과의 밀착성이 우수하고, 현상 후에 개구부에 잔사를 발생시키지 않으며, 도금 후의 수지막의 균열 발생을 억제할 수 있고, 또한 도금의 수지막에의 압입을 억제할 수 있다.</p> |
