小面积衬底用硒源离化器

摘要

本实用新型涉及一种小面积衬底用硒源离化器，包括内部有两个电极形成离化腔室的方形离化器壳体，离化腔室中有加热源、离化腔室顶部有气体输出口，离化腔室底部有气体输入口，其特征在于：方形离化器壳体内壁固装有绝缘层，两个电极均为平板状电极板；电极板上有密封绝缘引出在离化器壳体外面的电极接线柱；离化腔室有通向外部的Ar气输入管。本实用新型由于采用了方便制作的两个方形电极板形成的方形离化腔室，温度400℃~500℃时，通入Ar气后形成辉光放电区；进到辉光放电区的大原子团Se蒸汽裂解成小原子团Se蒸汽，参与小面积衬底上CIGS吸收层制备，提高小面积CIGS薄膜太阳电池的光电转换效率，并且结构简单、制作方便。

主权项

小面积衬底用硒源离化器，包括内部有两个电极形成离化腔室的方形离化器壳体，离化腔室中有加热源、离化腔室顶部有气体输出口，离化腔室底部有气体输入口，其特征在于：方形离化器壳体内壁固装有绝缘层，两个电极均为平板状电极板，并固装在气体输出口和气体输入口之间相对应的两面内壁的绝缘层上，形成相互平行的两个电极板；两个电极板上均有密封绝缘引出在离化器壳体外面的电极接线柱；绝缘层中穿有从离化腔室通向外部的Ar气输入管；所述离化腔室底部的气体输入口为Se蒸汽输入口。