光罩、曝光方法、光罩之制造方法、半透相移光罩之制造方法

摘要

本发明提供一种光罩，能够在使用此光罩时防止异物产生，而本发明还提供一种使用此光罩的曝光方法。该光罩包含透明基板2；形成在透明基板2部分之主要区域3的转移图案4；在主要区域3的外围区域，提供临近主要区域3之光遮蔽带区域5；及藉由黏着剂8a，将薄膜膜层6a黏着到薄膜架6b形成之薄膜6，其中此薄膜6系透过黏着剂8b黏着在光遮蔽区域7之上，而光遮蔽区域7系由形成在主要区域3的外围区域之光遮蔽膜构成。