基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置

摘要

基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置属于表面形貌测量技术领域；该测量装置包括激光器、沿光线传播方向配置在激光器直射光路上的准直扩束器和偏振分光镜；配置在偏振分光镜反射光路上的四分之一波片、反射式物镜和被测件；配置在偏振分光镜透射光路上的收集物镜、针孔和探测器；所述的探测器中含有窄带滤光片；所述的被测件表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜；这种通过镀膜改变被测面的表面特性的设计，保证测量光经被测面反射后能够返回探测系统，解决了高NA和高斜率表面检测的难题，适用于高NA和高斜率球面、非球面和自由曲面三维形貌的超精密测量。

主权项

基于被测表面荧光激发的长工作距轮廓测量装置，其特征在于包括激光器（1）、沿光线传播方向配置在激光器（1）直射光路上的准直扩束器（2）和偏振分光镜（3）；配置在偏振分光镜（3）反射光路上的四分之一波片（4）、反射式物镜（5）和被测件（6）；配置在偏振分光镜（3）透射光路上的收集物镜（7）、针孔（8）和探测器（9）；所述的探测器（9）中含有窄带滤光片；所述的被测件（6）表面采用真空蒸发镀膜法进行有机镀膜。