数控多晶双端面研磨机磨头进给机构

摘要

本实用新型涉及多晶硅领域，尤其涉及一种多晶双端面研磨机。一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，包括支座、滑板、线性滑动导轨、滚珠丝杠、丝杆座和电机；所述线性滑动导轨共有一对，一对线性滑动导轨平行固定安装在支座上，所述滚珠丝杠通过轴承安装在支座上，滚珠丝杠与线性滑动导轨平行设置；所述电机通过传动机构与滚珠丝杠相连，所述丝杆座固定安装在滚珠丝杠的丝杠螺母上，所述滑板安装在线性滑动导轨的滑块上，滑板与丝杆座固定相连，磨头固定安装在滑板的顶部。本实用新型利用自动化控制的电机运动提高了加工精度，彻底解决了原机构引起的磨头进给困难、被加工件易损坏的现象。

主权项

一种数控多晶双端面研磨机磨头进给机构，其特征是：包括支座(1)、滑板(2)、线性滑动导轨(3)、滚珠丝杠(4)、丝杆座(5)和电机(6)；所述线性滑动导轨(3)共有一对，一对线性滑动导轨(3)平行固定安装在支座(1)上，所述滚珠丝杠(4)通过轴承(7)安装在支座(1)上，滚珠丝杠(4)与线性滑动导轨(3)平行设置；所述电机(6)通过传动机构与滚珠丝杠(4)相连，所述丝杆座(5)固定安装在滚珠丝杠(4)的丝杠螺母上，所述滑板(2)安装在线性滑动导轨(3)的滑块上，滑板(2)与丝杆座(5)固定相连，磨头(8)固定安装在滑板(2)的顶部。