刻划装置

摘要

本发明的目的在于提供一种与以往相比进一步实现了金刚石笔的长寿命化的刻划装置。在脆性材料基板上形成划线的刻划装置包括：金刚石笔，在前端具有包括金刚石含有物的刀部；保持机构，一面保持金刚石笔一面使其移动；及保持单元，保持脆性材料基板；且，通过一面使刀部接触保持在保持单元的脆性材料基板的表面，一面利用保持机构使金刚石笔移动，可在表面形成划线；该刻划装置还包括环境调整机构，该环境调整机构通过至少在形成划线的期间，对刀部存在的被供给空间供给惰性气体而使被供给空间成为低氧状态。

主权项

一种刻划装置，其特征在于：在脆性材料基板上形成划线，且包括：金刚石笔，在前端具有包括金刚石含有物的刀部；保持机构，一面保持所述金刚石笔一面使其移动；及保持单元，保持所述脆性材料基板；且通过一面使所述刀部接触保持在所述保持单元的所述脆性材料基板的表面，一面利用所述保持机构使所述金刚石笔移动，可在所述表面形成划线；该刻划装置还包括环境调整机构，该环境调整机构通过至少在形成所述划线的期间，对所述刀部存在的被供给空间供给惰性气体，而使所述被供给空间成为低氧状态。