发明名称 |
薄膜太阳能电池的制造方法 |
摘要 |
一种薄膜太阳能电池的制造方法,包括:提供一薄膜太阳能电池沉积设备,所述薄膜太阳能电池沉积设备包括反应腔;提供基板,所述基板设置在所述反应腔中;向所述反应腔内通入流量比为第一比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第一气压下,在基板上形成P型微晶硅层;向所述反应腔内通入流量比为第二比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第二气压下,在所述P型微晶硅层上形成孵化层,所述第二气压大于或等于0.3mbar且小于或等于2mbar;向所述反应腔内通入流量比为第三比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第三气压下,在所述孵化层上形成本征微晶硅层。在低气压下的条件下生长孵化层可以降低发尘的几率。 |
申请公布号 |
CN102064236B |
申请公布日期 |
2013.05.15 |
申请号 |
CN201010553709.6 |
申请日期 |
2010.11.19 |
申请人 |
理想能源设备(上海)有限公司 |
发明人 |
陈金元;马哲国;董家伟 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I;C23C16/455(2006.01)I;C23C16/505(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
骆苏华 |
主权项 |
一种薄膜太阳能电池的制造方法,包括:提供一薄膜太阳能电池沉积设备,所述薄膜太阳能电池沉积设备包括反应腔、位于所述反应腔内的上电极、与上电极相连的射频产生装置,所述射频产生装置用于向所述上电极加载射频信号,用于形成等离子体,以沉积硅薄膜;提供基板,所述基板设置在所述反应腔中;向所述反应腔内通入流量比为第一比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第一气压下,在基板上形成P型微晶硅层;向所述反应腔内通入流量比为第二比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第二气压下,在所述P型微晶硅层上形成孵化层,所述第二气压大于或等于0.3mbar且小于或等于2mbar;向所述反应腔内通入流量比为第三比例的硅烷和氢气,将所述反应腔内的气体控制在第三气压下,在所述孵化层上形成本征微晶硅层。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区张江居里路1号 |