一种多晶硅制绒系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅制绒系统，包括酸制绒槽、碱洗槽、至少一漂洗槽、酸洗槽、吹干槽，用于形成掩膜的丝网印刷机，与所述丝网印刷机相连的烘箱，以及去掩膜槽；所述丝网印刷机、烘箱、酸制绒槽、去掩膜槽、漂洗槽、碱洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、吹干槽依次相连。采用本实用新型，所述多晶硅制绒系统利用丝网印刷机形成掩膜，对硅片进行有目的选择性腐蚀，从而形成规则、均匀的绒面，增大了受光面积和陷光效果，从而降低绒面的反射率，有效减少太阳光谱的反射损耗，提高了太阳电池的光电转换效率。

主权项

一种多晶硅制绒系统，包括酸制绒槽、碱洗槽、至少一漂洗槽、酸洗槽、吹干槽，其特征在于，所述多晶硅制绒系统还包括：用于形成掩膜的丝网印刷机以及去掩膜槽；所述丝网印刷机、酸制绒槽、去掩膜槽、漂洗槽、碱洗槽、漂洗槽、酸洗槽、漂洗槽、吹干槽依次相连。