CARRIER BOARD CIRCULATION METHOD AND CHAMBER SYSTEM OF TEST HANDLER
摘要
<p>본 발명은 테스트핸들러의 캐리어보드 순환방법 및 챔버 시스템에 관한 것으로, 본 발명에 따르면 캐리어보드가 순환경로 상을 순환할 시에 후순위의 캐리어보드가 선순위의 캐리어보드보다 테스트챔버로부터 먼저 인출되면 후순위의 캐리어보드를 대기시킨 다음 선순위의 캐리어보드를 디소크챔버로 이송시킨 후 후순위의 캐리어보드를 디소크챔버로 이송시킴으로써 캐리어보드들의 순환순서를 유지시키면서도 처리의 신속성을 담보할 수 있는 기술이 개시된다.</p>
