发明名称 PHOTOVOLTAIC CELL TEXTURIZATION
摘要 <p>광전지의 텍스쳐화 방법이 개시되어 있다. 광전지의 텍스쳐화 방법은 광전지 기판을 마련하는 것; 광전지 기판의 표면을 텍스쳐라이징(texturizing)하는 것을 포함한다. 텍스쳐화는 광전지 기판의 표면의 일부를 노출시키는 나노임프린트 리소그래피(nanoimprint lithography) 공정을 구현한다. 광전지 기판의 표면의 노출된 부분에 대해 에칭 공정이 실시된다.</p>
申请公布号 KR101264535(B1) 申请公布日期 2013.05.14
申请号 KR20110071072 申请日期 2011.07.18
申请人 发明人
分类号 H01L31/0236;H01L31/042;H01L31/18 主分类号 H01L31/0236
代理机构 代理人
主权项
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