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<p>복수의 웨이퍼 보유 위치들을 갖는 플라즈마 클러스터 툴에서, 개시 웨이퍼 보유 위치와 목적지 웨이퍼 보유 위치 사이에서 웨이퍼를 전달하도록 구성된 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 생성하는 컴퓨터 구현 방법이 개시된다. 이 방법은, 플라즈마 클러스터 툴의 스크린상의 그래픽 표현 상에서, 각각, 개시 웨이퍼 보유 위치 및 목적지 웨이퍼 보유 위치를 그래픽적으로 식별하는 제 1 사용자-제공 위치 표시자 및 제 2 사용자-제공 위치 표시자를 수신하는 단계를 포함한다. 이 방법은, 제 1 사용자-제공 위치 표시자와 제 2 사용자-제공 위치 표시자 사이의 경로에 관한 데이터를 확인하는 단계를 더 포함한다. 이 방법은, 그 경로에 관한 데이터에 응답하는 웨이퍼 전달 명령들의 세트를 형성하는 단계를 더 포함한다. 웨이퍼 전달 명령들의 세트는 웨이퍼를 상기 경로와 관련된 웨이퍼 보유 위치들의 세트를 따라 전달하도록 구성된다.</p> |
