| 摘要 |
本发明的目的在于提供一种能够在搬送路径之途中高度地进行要求板状构件之表面平坦度的处理之板状构件的搬送装置及板状构件的搬送方法。;本发明的搬送装置(10)系具备：浮起手段(20)，系沿着玻璃基板(11)的搬送方向排列有复数个使玻璃基板(11)浮起之浮起构件(21)；搬送手段(30)，系在玻璃基板(11)藉由浮起手段(20)而浮起于浮起构件(21)之状态下保持玻璃基板(11)，并且沿着搬送方向将玻璃基板(11)往下游侧搬送；以及处理部(40)，系在搬送手段(30)的搬送路径之途中对玻璃基板(11)进行曝光处理。在对应于处理部(40)的区域中，设置有横置浮起构件(43)以作为表面平坦度提升手段。 |
