发明名称 СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ГРАФЕНОВОЙ ПЛЕНКИ
摘要 1. Способ получения графеновой пленки, включающий осаждение углерода из углеродсодержащего газа на подложку, покрытую катализатором, отличающийся тем, что в качестве катализатора используют наночастицы железа.2. Способ по п.1, отличающийся тем, что наночастицы железа получают термическим разложением ферритина, нанесенного из раствора на подложку.3. Способ по п.1, отличающийся тем, что в качестве углеродсодержащего газа берут газ, выбранный из ряда: ацетилен, или метан, или смесь, по крайней мере, одного из упомянутых газов с водородом и/или инертным газом.4. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение углерода на подложку осуществляют из потока нагретого углеродсодержащего газа.5. Способ по п.1, отличающийся тем, что осаждение углерода на подложку осуществляют кратковременным напуском углеродсодержащего газа на предварительно нагретую в вакууме подложку с катализатором с последующим откачиванием реактора и одновременным охлаждением его до комнатной температуры6. Способ по п.5, отличающийся тем, что подложку с катализатором помещают в вакуум 10-10торр.7. Способ по п.5, отличающийся тем, что подложку с катализатором нагревают до температуры 800-1000°С.8. Способ по п.5, отличающийся тем, что напуск углеродсодержащего газа производят до давления 10-10торр.9. Способ по п.5, отличающийся тем, что откачивание реактора производят через 1-300 с после напуска углеродсодержащего газа.10. Способ по п.4, отличающийся тем, что охлаждение реактора до комнатной температуры производят со скоростью 10-100°/мин.
申请公布号 RU2011144412(A) 申请公布日期 2013.05.10
申请号 RU20110144412 申请日期 2011.11.03
申请人 Учреждение Российской академии наук Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов РАН (ИПТМ РАН) 发明人 Матвеев Виктор Николаевич;Клименко Галина Леонидовна;Левашов Владимир Иванович;Кононенко Олег Викторович;Бондаренко Галина Васильевна;Ходос Игорь Иванович;Фирсов Анатолий Александрович;Панина Ольга Ивановна
分类号 C01B31/04;B82B3/00 主分类号 C01B31/04
代理机构 代理人
主权项
地址