高频电力供给装置、等离子体处理装置以及薄膜制造方法

摘要

一种对平行平电极供给高频电力的高频电力供给装置，具备：高频电源133a和133b，对电极的相互分离的位置供给高频电力；脉冲发生器，该脉冲发生器以使高频电源133a和133b的供给电力按照包括高电平和低电平的多个电平来进行变化的方式进行脉冲调制，指示电平切换，以使得包括高频电源133a的供给电力为高电平且高频电源133b的供给电力为低电平的(1)的期间、高频电源133b的供给电力为高电平且高频电源133a的供给电力为低电平的(2)的期间、高频电源133a和133b的供给电力都为比低电平高的电平的(3)的期间。

主权项

一种高频电力供给装置，所述高频电力供给装置向包括第1电极和与上述第1电极相对配置的第2电极的平行平板电极的上述第1电极供给高频电力，其特征在于，具备：第1高频电源以及第2高频电源，对上述第1电极的分离的位置，分别供给高频电力;以及电力切换单元，以使上述第1高频电源的供给电力以及上述第2高频电源的供给电力按照包括高电平和低电平的多个电平来进行变化的方式进行脉冲调制，指示切换上述第1高频电源以及上述第2高频电源的供给电力的电平，以使得包括第1期间、第2期间以及第3期间，该第1期间是上述第1高频电源的供给电力为高电平、且上述第2高频电源的供给电力为低电平的期间，该第2期间是上述第2高频电源的供给电力为高电平、且上述第1高频电源的供给电力为低电平的期间，该第3期间是上述第1高频电源的供给电力和上述第2高频电源的供给电力都为比低电平高的电平的期间。