发明名称 高金刚烷衍生物、其制备方法及光致抗蚀剂用感光性材料
摘要 下式(I)表示的高金刚烷衍生物,式中R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数。不过,n与m不能同时为0。<img file="DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="360" he="104" />
申请公布号 CN103097371A 申请公布日期 2013.05.08
申请号 CN201180016648.2 申请日期 2011.03.16
申请人 出光兴产株式会社 发明人 田中慎司;上野山义崇;大野英俊;河野直弥;伊藤克树
分类号 C07D313/10(2006.01)I;C08F20/26(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I 主分类号 C07D313/10(2006.01)I
代理机构 中国专利代理(香港)有限公司 72001 代理人 孔青;庞立志
主权项 1. 下式(I)表示的高金刚烷衍生物:<img file="2011800166482100001DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="377" he="118" />式中,R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数,不过n与m不能同时为0。
地址 日本东京都千代田区丸之内3丁目1番1号