发明名称 |
高金刚烷衍生物、其制备方法及光致抗蚀剂用感光性材料 |
摘要 |
下式(I)表示的高金刚烷衍生物,式中R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数。不过,n与m不能同时为0。<img file="DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="360" he="104" /> |
申请公布号 |
CN103097371A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201180016648.2 |
申请日期 |
2011.03.16 |
申请人 |
出光兴产株式会社 |
发明人 |
田中慎司;上野山义崇;大野英俊;河野直弥;伊藤克树 |
分类号 |
C07D313/10(2006.01)I;C08F20/26(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I |
主分类号 |
C07D313/10(2006.01)I |
代理机构 |
中国专利代理(香港)有限公司 72001 |
代理人 |
孔青;庞立志 |
主权项 |
1. 下式(I)表示的高金刚烷衍生物:<img file="2011800166482100001DEST_PATH_IMAGE002.GIF" wi="377" he="118" />式中,R<sup>1</sup>、R<sup>2</sup>分别表示氢原子或碳数1~6的直链状、分支状或环状的烃基,X表示羟基或卤原子,n、m分别为0~3的整数,不过n与m不能同时为0。 |
地址 |
日本东京都千代田区丸之内3丁目1番1号 |