| 发明名称 | 正型感光性树脂组合物、抗蚀图形的制造方法和电子部件 | ||
| 摘要 | 本发明的正型感光性树脂组合物含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。 | ||
| 申请公布号 | CN103097954A | 申请公布日期 | 2013.05.08 |
| 申请号 | CN201180044326.9 | 申请日期 | 2011.09.02 |
| 申请人 | 日立化成株式会社 | 发明人 | 谷本明敏;野部茂;粕谷圭;松谷宽;上野巧;青木优;田原真吾 |
| 分类号 | G03F7/075(2006.01)I;G03F7/004(2006.01)I;G03F7/023(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/075(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京银龙知识产权代理有限公司 11243 | 代理人 | 钟晶;於毓桢 |
| 主权项 | 一种正型感光性树脂组合物，含有：具有酚羟基的碱溶性树脂、通过光生成酸的化合物、热交联剂、以及具有选自环氧基和硫醚基的至少一种官能团的硅烷化合物。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||