离子源电极的清洁装置

摘要

本发明提供一种离子源电极的清洁装置，可以沿构成离子源的引出电极系统的电极的宽广区域高速去除沉积物。该清洁装置包括：清洁气体源（42）等构件，向引出电极系统（10）的相互面对的两个电极（11、12）之间提供清洁气体（48），使两个电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源（60），向两个电极（11、12）之间施加直流电压，发生辉光放电（80）。该清洁装置还包括：异常放电测量器（84），测量在规定时间内电极（11、12）之间发生异常放电的次数（N）；电源控制器（86），使用测量到的发生异常放电的次数（N）进行控制，使辉光放电电源（60）的输出电流（Ig）增减规定幅度。

主权项

一种离子源电极的清洁装置，在未从离子源引出离子束时，对构成离子源的引出电极系统的多个电极中相互面对的两个电极进行清洁，所述离子源电极的清洁装置的特征在于包括：放电气氛形成构件，在清洁时至少向相互面对的两个所述电极之间提供清洁气体，使两个所述电极之间的气体压力保持在发生辉光放电的气体压力；辉光放电电源，在清洁时向相互面对的两个所述电极之间施加直流电压，使所述清洁气体在两个所述电极之间发生辉光放电；异常放电测量构件，测量清洁时的所述辉光放电电源的输出电流或输出电压的大小，检测相互面对的两个所述电极之间的异常放电，并且测量在规定时间内发生所述异常放电的次数；以及电源控制构件，利用由所述异常放电测量构件测量到的所述规定时间内发生异常放电的次数，控制所述辉光放电电源的输出电流，并进行如下控制：（a）在开始清洁时把所述辉光放电电源的输出电流控制为规定的初始值；（b）当发生所述异常放电的次数小于规定的第一下限值时，使所述辉光放电电源的输出电流以规定的达成目标值为上限，增加规定的第一增幅；（c）当发生所述异常放电的次数大于规定的上限值时，使所述辉光放电电源的输出电流以所述初始值为下限，减少规定的减幅；（d）当发生所述异常放电的次数在所述第一下限值以上且在所述上限值以下时，保持所述辉光放电电源的输出电流。