发明名称 |
物理量检测装置、物理量检测器及电子设备 |
摘要 |
本发明提供一种物理量检测装置、物理量检测器及电子设备,其能够抑制应力向物理量检测元件传递的情况。物理量检测装置(100)包括:基部(10);可动部(13),其经由连接部(12)而被设置在基部(10)上,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检测元件(40),其以跨接基部(10)与可动部(13)的方式而被固定;质量部(50、52),其被固定在可动部(13)上,可动部(13)包括:第一固定部(14),其上固定有物理量检测元件(40);第二固定部(16a、16b),其上固定有质量部(50、52);切口部(20a、20b),其与连接部(12)分离,且具有从可动部(13)的侧面(13e)起到达至与连结第一固定部(14)和第二固定部(16a、16b)的线段(L1、L2)交叉的部位处的切口形状。 |
申请公布号 |
CN103091509A |
申请公布日期 |
2013.05.08 |
申请号 |
CN201210440050.2 |
申请日期 |
2012.11.06 |
申请人 |
精工爱普生株式会社 |
发明人 |
渡边润 |
分类号 |
G01P15/00(2006.01)I;G01C9/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01P15/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京金信立方知识产权代理有限公司 11225 |
代理人 |
黄威;苏萌萌 |
主权项 |
一种物理量检测装置,包括:基部;可动部,其经由连接部而被设置在所述基部上,并根据物理量的变化而发生位移;物理量检测元件,其以跨接所述基部与所述可动部的方式而被固定;质量部,其被固定在所述可动部上,所述可动部包括:第一固定部,其上固定有所述物理量检测元件;第二固定部,其上固定有所述质量部;切口部,其与所述连接部分离,且具有如下的切口形状,即,从所述可动部的侧面起到达至与连结所述第一固定部和所述第二固定部的线段交叉的部位处的切口形状。 |
地址 |
日本东京 |