用于利用升降销静电解除卡紧的极区

摘要

一种用于半导体晶片的静电卡紧和解除卡紧的装置包括具有多个区域的静电卡盘。每一个区域包括围绕升降销的一或多个极区，所述升降销接触半导体晶片的底面。所述装置还包括控制所述升降销的一或多个控制器和控制所述极区的一或多个控制器。用于所述升降销的控制器从一或多个传感器接收数据并利用所述数据来调节所述升降销的向上力。同样地，用于所述极区的控制器从所述传感器接收数据并利用所述数据来调节所述极区中的电压。

主权项

一种用于静电卡紧和解除卡紧的装置，其包括：具有多个区域的静电卡盘，其中每一个区域包括围绕用于接触衬底底面的升降销的一或多个极区；控制所述升降销的一或多个控制器；以及控制所述极区的一或多个控制器。