| 摘要 |
<p>본 발명은 빔 히터를 발열체로 사용하는 유기발광소자 제조용 증착장비에 관한 것으로서, 상부에 피처리 기판이 위치하는 증착 챔버와; 상기 증착 챔버의 하부에 위치하여 유기물을 증발시킴에 따라 상기 피처리 기판에 유기막을 증착시키는 증발원을 포함하되, 상기 증발원은, 유기물이 담기고, 상기 증착 챔버 내부에 위치하는 도가니와; 상기 도가니에 고온의 마이크로 빔을 조사시켜 열 에너지를 발생시키도록 하되, 상기 증착 챔버 외부에 위치하는 빔 히터와; 상기 빔 히터에서 발생된 고온의 마이크로 빔을 상기 도가니로 안내하기 위하여 상기 증착 챔버의 하부를 관통하여 설치되는 연결 튜브를 포함하여 구성된 것을 특징으로 하며, 이에 따라 증착 챔버 내부의 진공도가 저하되는 것이 예방되고, 에너지 소모가 적으면서도 승온 속도가 높아지며, 도가니의 가열 온도 조절이 용이하여 결국 증착 효율이 향상되는 효과가 제공된다.</p> |
