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<p>고품질인 소결체를 저가로 제조할 수 있는 ITO 소결체의 제조 방법 및 ITO 스퍼터링 타겟의 제조 방법을 제공한다. 본 발명의 일실시 형태와 관련되는 ITO 소결체의 제조 방법은, 산화 인듐 및 산화 주석을 주성분으로 하는 소결편군을 용기 내에서 교반하면서 파쇄하는 것으로, 제1 평균 입자 지름을 갖는 제1 ITO 분말을 제작하는 공정을 포함한다. 상기 제1 ITO 분말을 매체교반 밀 또는 제트 밀에 의해 파쇄하는 것으로, 상기 제1 평균 입자 지름 보다 작은 제2 평균 입자 지름을 갖는 제2 ITO 분말이 제작된다. 상기 제2 ITO 분말에 산화 인듐 분말 및 산화 주석 분말을 혼합하고, 그 혼합 분말을 분쇄하는 것으로, 상기 제2 평균 입자 지름 보다 작은 제3 평균 입자 지름을 갖는 제3 ITO 분말이 제작된다. 상기 제3 ITO 분말을 포함한 슬러리를 거푸집에 캐스트 하는 것으로 성형체가 제작된 후, 소결된다.</p> |
