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发明名称 ALUMINUM NITRIDE SINTERED BODY
摘要 <p>정전척용 질화 알루미늄 소결체는 크롬산화물 0.1 내지 1.0 중량% 및 주성분인 질화 알루미늄으로 구성된다. 또한, 정전척용 질화 알루미늄 소결체크롬산 0.1 내지 1.0 중량%, 이트륨 산화물 1.0 내지 3.0 중량%와 주성분인 질화 알루미늄으로 구성된다. 본 발명에 따른 정전척용 질화 알루미늄 소결체는 우수한 체적 저항율 및 누설전류 특성을 가진다.</p>
申请公布号 KR101256878(B1) 申请公布日期 2013.05.02
申请号 KR20060116194 申请日期 2006.11.23
申请人 发明人
分类号 B22F3/00 主分类号 B22F3/00
代理机构 代理人
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