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发明名称 THIN FILMS AND METHODS OF MAKING THEM USING CYCLOHEXASILANE
摘要
申请公布号 KR20130044312(A) 申请公布日期 2013.05.02
申请号 KR20137002386 申请日期 2011.06.23
申请人 MATHESON TRI-GAS, INC. 发明人 TORRES ROBERT JR.;FRANCIS TERRY ARTHUR;HASAKA SATOSHI;BRABANT PAUL DAVID
分类号 H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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