提高产能之晶粒取放装置

摘要

一种提高产能之晶粒取放装置，其包含有：一能够置放一具有复数个晶粒的晶圆之晶圆承载台；一能够放置该些晶粒之晶粒承载台；一能够定位该些晶粒之中载台，其系设于该晶粒承载台与该晶圆承载台之间；一能够吸取至少一位于该晶圆承载台的晶粒，且将该晶粒放置于该中载台之第一吸取单元，其系设于该晶圆承载台的上方，并于该晶圆承载台与该中载台之间呈往复运动；以及一能够吸取至少一位于该中载台的晶粒，且将该晶粒放置于该晶粒承载台之第二吸取单元，其系设于该晶粒承载台的上方，并于该晶粒承载台与该中载台之间呈往复运动。