工作站间之移送室

摘要

提供一种工作站间之移送室，系在相邻之基板加工工作站系统间建构一桥接室，该桥接室则藉由建构在相邻之基板加工工作站系统之埠(port)相连通，并使用运送机构移送基板进出于旁通(bypass)主运送系统之桥接室。