一种具有椭圆门闩结构之前开式晶圆盒

摘要

一种前开式晶圆盒，主要包括一盒体，盒体内部系设有复数个插槽以容置复数个晶圆，盒体之一侧面系形成一开口可供上述复数个晶圆之输入及输出，以及一门体，系具有一外表面及一内表面，而门体系以内表面与盒体之开口相结合，并用以保护置放于盒体内部之复数个晶圆，其中前开式晶圆盒之特征在于：门体之内部配置至少一门闩结构，其包括一具有一对V型沟槽之椭圆凸轮且其表面设有一滑槽、一对各具有一嵌合部之滑动装置、以及一设于滑动装置上之导正结构，嵌合部嵌入滑槽中以分别将一对滑动装置嵌设于椭圆凸轮上。