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发明名称
双光点检测单元、应用该单元的检测装置及方法
摘要
本发明系有关于一种双光点检测单元、应用该单元的检测装置及方法,其系包括有一光源装置及一控制手段,该光源装置可在同一光路上产生二光束,该控制手段用以控制使该二光束的聚焦位置不同,当其一光束相对于一焦平面为锁焦而形成光点时,则另一光束正好相对该焦平面为离焦而形成一最佳化尺寸的检测光斑,且控制使该二光束之锁焦与离焦的动作做周期式的交替互换,进而达到快速且精准检测之目的者。
申请公布号
TWI394943
申请公布日期
2013.05.01
申请号
TW097150853
申请日期
2008.12.26
申请人
国立虎尾科技大学 云林县虎尾镇文化路64号
发明人
徐力弘;傅毓芬
分类号
G01M11/02
主分类号
G01M11/02
代理机构
代理人
林基源 台中市北区青岛一街37号之2
主权项
地址
云林县虎尾镇文化路64号
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