使用三角形形状裁适的镭射脉冲于所选定靶材类型的镭射系统和方法

摘要

藉由镭射来处理像是半导体晶圆或其他材料的工件，其中包含选定对应于与经预先定义的时间性脉冲廓型相关联的靶材类型的靶材以进行处理。所述经预先定义的时间性脉冲廓型的至少一者可为三角形。该靶材类型可包含例如未经钝化导电性链接或其他的裸露金属结构。根据与该选定靶材相关联的靶材类型以产生具有三角形时间性脉冲廓型的镭射脉冲。利用所产生的镭射脉冲以处理该选定结构。

主权项

一种用于藉由镭射以对工件进行处理的方法，该方法包含：储存对应于多个时间性脉冲廓型的资料，各个时间性脉冲廓型为关联于该工件之上或之内的个别靶材类型结构，其中所述多个时间性脉冲廓型之一者含有三角形形状，此形状为在第一时间处按第一固定速率自初始功率值提高而在第二时间处至尖峰功率值，并且在该第二时间处按第二固定速率自该尖峰功率值减少而在第三时间处返回至该初始功率值；选定位于该工件之上或之内的结构以供处理，该选定结构关联于含有该三角形形状的时间性脉冲廓型；根据该选定结构，自所述多个时间性脉冲廓型中选定含有该三角形形状的时间性脉冲廓型；产生含有该选定时间性脉冲廓型的镭射脉冲；以及将所产生的镭射脉冲导引至该工件以藉由该所产生镭射脉冲来处理该选定结构。