发明名称 | 聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构 | ||
摘要 | 本实用新型公开了一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构,包括主机、底座、滚桶和真空腔室,其特征在于:在真空腔室的一侧墙板上设置有密封圈安装槽,在密封圈安装槽内设置有密封圈。真空腔室设置有密封圈安装槽的一侧墙板固定在主机侧壁上,主机内的高温裂解管穿过裂解炉并通过管口法兰与真空腔室侧壁相连接,且高温裂解管通过进气管与滚桶贯通连接。本实用新型解决了聚对二甲苯真空卧式沉积系统后裂解段密封圈容易老化漏气,更换频繁的问题,提供了一种结构简单,密封圈不易老化损坏,使用寿命长,密封性可靠的聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构。 | ||
申请公布号 | CN202913057U | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
申请号 | CN201120447705.X | 申请日期 | 2011.11.14 |
申请人 | 昆山彰盛奈米科技有限公司 | 发明人 | 徐志淮 |
分类号 | C23C16/44(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/44(2006.01)I |
代理机构 | 代理人 | ||
主权项 | 一种聚对二甲苯真空卧式沉积系统新密封结构,包括主机、底座、滚桶和真空腔室,在真空腔室内安装有滚桶,其特征在于:在主机旁设置有底座,在底座的上方设置有真空腔室,在真空腔室的一侧墙板上设置有密封圈安装槽,在密封圈安装槽内设置有密封圈,真空腔室设置有密封圈安装槽的一侧墙板固定在主机侧壁上,主机内的高温裂解管穿过裂解炉并通过管口法兰与真空腔室侧壁相连接,且高温裂解管通过进气管与滚桶贯通连接。 | ||
地址 | 215331 江苏省昆山市金阳东路8号 |