利用聚酰亚胺制作介质桥的方法

摘要

本发明公开了一种利用聚酰亚胺制作介质桥的方法，包括以下步骤：在基片上涂布光刻胶，光刻桥面；蒸发金属，剥离后形成桥面；在基片上涂布光刻胶，光刻桥墩；蒸发金属，剥离后形成桥墩；在基片上涂布聚酰亚胺，并高温固化；利用干法刻蚀将多余的聚酰亚胺刻蚀掉，直至露出桥墩为止；在聚酰亚胺上涂布光刻胶，光刻桥墩引线；蒸发金属，剥离后形成桥墩引线。本发明制作的介质桥，采用聚酰亚胺作为介质，其桥面长度不像传统空气桥那样受到最大跨度的限制，解决了传统空气桥工艺中桥面容易发生断裂的问题。

主权项

一种利用聚酰亚胺制作介质桥的方法，其特征在于，包括以下步骤：在基片上涂布光刻胶，光刻桥面位置的胶，形成桥面图形；蒸发金属，剥离掉桥面区域之外的金属，形成桥面；在基片上涂布光刻胶，光刻桥墩位置的胶，以形成桥墩图形；蒸发金属，剥离掉桥墩区域之外的金属，形成桥墩，桥墩置于桥面上；在基片上涂布聚酰亚胺，聚酰亚胺的厚度高于桥面和桥墩的总高度，并高温固化；利用干法刻蚀将高于桥墩的多余的聚酰亚胺刻蚀掉，直至露出桥墩为止；在聚酰亚胺上涂布光刻胶，光刻桥墩引线位置的胶，以形成引线图形；蒸发金属，剥离掉引线图形区域之外的金属，形成桥墩引线。