| 发明名称 | 真空镀膜用布气系统 | ||
| 摘要 | 一种真空镀膜用布气系统，它包括套装的第一布气管、第二布气管和隔片，所述的第一布气管上设有多个第一出气孔，第二布气管上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔，第一布气管和第二布气管的两端封闭，第一布气管的一侧为进气孔，隔片横向或斜向设置在第二布气管内，使得第二布气管形成两腔体，隔片的两端与第二布气管有一定缝隙，第一布气管安装在第二布气管内背向真空镀膜靶面的腔体内。本实用新型通过二次布气，达到了布气的均匀性，在使用过程中，通过对镀膜均匀性的检测，取得了良好的效果。 | ||
| 申请公布号 | CN202913049U | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201220096401.8 | 申请日期 | 2012.03.14 |
| 申请人 | 无锡康力电子有限公司 | 发明人 | 朱殿荣;曹俊 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 南京天华专利代理有限责任公司 32218 | 代理人 | 夏平 |
| 主权项 | 一种真空镀膜用布气系统，其特征是它包括套装的第一布气管（1）、第二布气管（2）和隔片（3），所述的第一布气管（1）上设有多个第一出气孔（4），第二布气管（2）上，平行于真空镀膜靶面的一侧设有多个第二出气孔（5），第一布气管（1）和第二布气管（2）的两端封闭，第一布气管（1）的一侧为进气孔（6），隔片（3）横向或斜向设置在第二布气管（2）内，使得第二布气管（2）形成两腔体，隔片（3）的两端与第二布气管（2）有一定缝隙，第一布气管（1）安装在第二布气管（2）内背向真空镀膜靶面的腔体内。 | ||
| 地址 | 214253 江苏省无锡市宜兴市新建工业园166号 | ||