| 发明名称 | 一种Y<sub>2</sub>O<sub>3</sub>耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及大气等离子喷涂技术领域，具体涉及一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法。所述制备方法，包括如下步骤：步骤（1），选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤（2），对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤（3），选择Ar和He气体为离子气体，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层。使用本发明制备的Y2O3涂层为纯正白色，色泽均匀，不再出现杂色斑点，并且具有优异的耐刻蚀性能。 | ||
| 申请公布号 | CN103074568A | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
| 申请号 | CN201110328539.6 | 申请日期 | 2011.10.26 |
| 申请人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明人 | 王文东;罗小晨;刘邦武;夏洋;李勇滔 |
| 分类号 | C23C4/12(2006.01)I;C23C4/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C4/12(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京市德权律师事务所 11302 | 代理人 | 刘丽君 |
| 主权项 | 一种Y2O3耐侵蚀陶瓷涂层的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤（1），选择纯度大于99.95％的Y2O3粉末；步骤（2），对被喷涂的基材表面进行预处理；步骤（3），选择Ar和He气体为离子气体，通过等离子体喷涂设备在所述基材表面进行等离子喷涂，制备出Y2O3涂层。 | ||
| 地址 | 100029 北京市朝阳区北土城西路3号 | ||