发明名称 | 一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法 | ||
摘要 | 一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,以Zn(NO3)2·6H2O和NH4F为原料溶于蒸馏水中配制成前驱液,将基板浸泡在OTS-甲苯溶液中制备OTS-SAMs膜,将OTS-SAMs膜干燥后于紫外光下照射得到表面具有功能化的OTS-SAMs膜的基板,在70℃~80℃下将基板的功能化OTS-SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面,使功能化OTS-SAMs膜与前驱液接触,通过反向吸附法沉积20h制备出非晶态ZnO薄膜,将非晶态薄膜干燥后在300℃保温退火制备出晶化的图案化的ZnO薄膜。本发明工艺简单,实验条件要求较低,得到的ZnO薄膜均匀致密。将本发明应用于图案化ZnO薄膜的制备,在微电子领域具有广阔的应用前景。 | ||
申请公布号 | CN103073048A | 申请公布日期 | 2013.05.01 |
申请号 | CN201210566375.5 | 申请日期 | 2012.12.24 |
申请人 | 陕西科技大学 | 发明人 | 谈国强;杨薇;任慧君 |
分类号 | C01G9/02(2006.01)I | 主分类号 | C01G9/02(2006.01)I |
代理机构 | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人 | 蔡和平 |
主权项 | 一种液相自组装技术制备图案化的ZnO薄膜的方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤一:前驱液的配置:将Zn(NO3)2·6H2O和NH4F溶于蒸馏水中,配成Zn(NO3)2·6H2O浓度为0.05mol/L,NH4F浓度为0.2~0.3mol/L的混合液,调节混合液的pH值为5.5,室温下搅拌混合液至完全澄清,得到前驱液;步骤二:基板的功能化:将基板洗涤干净,于体积浓度为1%的OTS‑甲苯溶液中浸泡制备OTS‑SAMs膜,将OTS‑SAMs膜干燥去除有机物后于紫外光下照射,得到表面具有功能化的OTS‑SAMs膜的基板;步骤三:薄膜的沉积:将表面具有功能化的OTS‑SAMs膜的基板的功能化OTS‑SAMs膜的一面朝下悬浮于前驱液表面,使功能化OTS‑SAMs膜与前驱液接触,在70℃~80℃沉积制备出非晶态薄膜;步骤四:薄膜的晶化:将制备的非晶态薄膜干燥后放入马弗炉中,于300℃保温退火120min得到晶化的图案化的ZnO薄膜。 | ||
地址 | 710021 陕西省西安市未央区大学园1号 |