一种多晶硅生产中的三氯氢硅合成的硅粉加料系统

摘要

本实用新型公开了一种多晶硅生产中的三氯氢硅合成的硅粉加料系统，包括硅粉供应料斗和主加料管道，所述主加料管道上至少设有3个控制阀，3个控制阀按主加料管道的进料方向依次为第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，第二控制阀设置在第一控制阀与第三控制阀之间，所述硅粉供应料斗的底部通过第一控制阀与主加料管道连通。本实用新型省去了原有的硅粉加料机，能调节硅粉流量，在实际生产运行当中，完全满足实际生产需求，而且节约了大量的成本。

主权项

一种多晶硅生产中的三氯氢硅合成的硅粉加料系统，包括硅粉供应料斗（1）和主加料管道（2），其特征在于：所述主加料管道（2）上至少设有3个控制阀（3），3个控制阀（3）按主加料管道（1）的进料方向依次为第一控制阀、第二控制阀和第三控制阀，第二控制阀设置在第一控制阀与第三控制阀之间，所述硅粉供应料斗（1）的底部通过第一控制阀与主加料管道（2）连通。