盘状物夹持装置

摘要

本实用新型属于半导体晶片工艺技术领域，公开了一种盘状物夹持装置。本实用新型所提供的盘状物夹持装置通过设置两组夹持元件组，每组夹持元件组分别包括若干个夹持元件，且每个夹持元件均可以其与卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转，并在每个夹持元件相对的位置设置驱动组件，用于推动或吸引夹持元件以其旋转中心旋转，实现夹持或打开晶片，通过控制驱动组件，使得在晶片清洗过程中每组夹持元件组交替夹持、打开晶片，实现对夹持元件与晶片接触地方的清洗，大大提高了晶片的整体清洗质量。

主权项

一种盘状物夹持装置，包括用于固定盘状物的卡盘主体及用于旋转所述卡盘主体的旋转轴，其特征在于，所述卡盘主体的边缘设置有第一夹持元件组和第二夹持元件组，且所述第一夹持元件组和第二夹持元件组分别包括至少三个第一夹持元件和第二夹持元件，所述第一夹持元件和第二夹持元件均可以其与所述卡盘主体的连接点为旋转中心在竖直平面旋转；所述卡盘主体下与每个所述第一夹持元件相对的位置均设置有第一驱动组件，用于推动或吸引所述第一夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体下与每个所述第二夹持元件相对的位置均设置有第二驱动组件，用于推动或吸引所述第二夹持元件以其旋转中心旋转；所述卡盘主体侧壁上与每个所述第一夹持元件和第二夹持元件旋转中心上方相对的位置均设置有弹性体，用于径向弹开所述第一夹持元件和第二夹持元件。