| 摘要 |
1. Комбинированная откачивающая система, содержащая геттерный насос (120; 220) и ионный насос (130; 230), отличающаяся тем, что упомянутый геттерный насос и ионный насос смонтированы последовательно и размещены, соответственно, на противоположных сторонах одного и того же фланца (111; 211), при этом ионный насос соединен с отверстием (260) фланца каналом (136; 236), причем упомянутый фланец выполнен с возможностью непосредственного монтажа комбинированной откачивающей системы на стенке (240) вакуумной камеры, при этом геттерный насос является внешним по отношению к каналу, соединяющему ионный насос с отверстием фланца.2. Система по п.1, в которой геттерный насос (120; 220) пересекает своим объемом ось симметрии отверстия (260) фланца.3. Система по п.1, в которой упомянутые насосы (120, 130; 220, 230) смонтированы так, что их оси параллельны друг другу и оси вращательной симметрии отверстия (260) фланца.4. Система по п.1, в которой упомянутые насосы (120, 130; 220, 230) смонтированы коаксиально по отношению друг к другу.5. Система по п.1, в которой геттерный насос (120; 220) содержит множество дисков (121, 121'; 221), изготовленных из неиспаряемого геттерного материала, уложенных один над другим на одной или более опор (122; 222).6. Система по п.5, в которой упомянутые диски (221) из геттерного материала размещены внутри металлической конструкции (250), соединенной с отверстием (260) фланца (211) через второй канал (270), выполненный с возможностью соединения геттерного насоса (220) с ионным насосом (230).7. Система по п.6, в которой упомянутый второй канал (270) снабжен множеством боковых отверстий в его стенках, выполненных с возможностью непосредственного соединения вакуумной камеры с ионным насосом |
