硅片传送机构

摘要

本实用新型涉及光伏器件的制造设备部件，具体是一种用来在硅片清洗和干燥设备中传送硅片的硅片传送机构。硅片传送机构包括有一个用来承载硅片的由动力驱动旋转的下滚轮；下滚轮的正上方设置有与下滚轮转轴平行的中空的喷气杆，喷气杆的底部设置有下喷气孔，喷气杆的前下侧和后下侧设置有侧喷气孔；下喷气孔和侧喷气孔均沿喷气杆长度方向排列，并经过喷气杆内腔与外部气源连通。本实用新型由于采用不与硅片相接触的喷气杆替代传统结构中的上滚轮，利用合理分布的喷气孔，使硅片平稳地与下滚轮接触，使下滚轮能够借助摩擦力将硅片向前送进，不仅使硅片上表面的清洗和烘干效果更佳，并且避免了传送机构污染硅片上表面，提高了硅片的外观质量。

主权项

一种硅片传送机构，包括有一个用来承载硅片的由动力驱动旋转的下滚轮（1）；其特征是：下滚轮（1）的正上方设置有与下滚轮转轴平行的中空的喷气杆（2），喷气杆的底部设置有下喷气孔（21），喷气杆的前下侧和后下侧设置有侧喷气孔（22）；下喷气孔（21）和侧喷气孔（22）均沿喷气杆长度方向排列，并经过喷气杆内腔与外部气源连通。