一种晶圆缺陷的检测系统和方法

摘要

本发明公开了一种晶圆缺陷检测系统，包括傅立叶滤波器，其包括位于光强信号采集范围内的多个阻挡单元，所述阻挡单元为第一方向排列的第一阻挡单元和/或第二方向排列的第二阻挡单元；切换模块，与所述傅里叶滤波器相连，根据检测方向将所述阻挡单元切换为所述第一阻挡单元或所述第二阻挡单元；以及检测器，检测傅立叶滤波器透射的光。本发明还相应提供了一种晶圆缺陷检测方法。通过本发明的晶圆缺陷检测系统和方法，在一次传送过程中就能完成不同方向图形上的晶圆缺陷检测，提高了设备产能。

主权项

一种晶圆缺陷检测系统，其特征在于，包括：傅立叶滤波器，其包括位于光强信号采集范围内的多个阻挡单元，所述阻挡单元为第一方向排列的第一阻挡单元和/或第二方向排列的第二阻挡单元；切换模块，与所述傅里叶滤波器相连，根据检测方向将所述阻挡单元切换为所述第一阻挡单元或所述第二阻挡单元；以及检测器，与所述傅立叶滤波器相连，检测所述傅立叶滤波器透射的光强信号。