一种氧化铝陶瓷表面金属化的组合物

摘要

一种降低氧化铝陶瓷钨金属化层方阻浆料及其制备工艺，属于陶瓷-金属封接技术领域。钨金属化层由钨粉和玻璃相组成。本发明主要通过改变钨粉粒度分布，使钨粉形成良好的级配，钨颗粒之间形成紧密堆积；同时加入用溶胶凝胶法制备的超细玻璃粉，其在烧结过程中熔融后能使钨颗粒迅速再排列和有效地填充空隙，促进金属化层的致密化。本发明可显著增加氧化铝陶瓷钨金属化层的致密度，并将钨金属化层的表面方阻降低至7-9mΩ/□。主要适用于微电子封装中混合集成电路、毫米波/微米波集成电路、多芯片组件和大功率器件的封装外壳。

主权项

一种氧化铝陶瓷表面金属化的组合物，其特征在于氧化铝陶瓷表面金属化的组合物由如下金属化配方构成：以重量百分比计有95%~97%的钨粉，3%~5%的MgO‑ Al2O3‑ SiO2玻璃粉；钨粉采用两种不同粒度分布的钨粉，分别用A和B表示，其中A的D50为0.8~1.2μm，B的D50为2~3μm，A和B的重量百分比分别为30%~50%和50%~70%；玻璃粉以重量百分比计有61%~63% SiO2、19%~21%MgO、16%~18% Al2O3，玻璃粉的粒径为0.5~1μm；采用溶胶‑凝胶法制备MgO‑ Al2O3‑ SiO2玻璃粉；制备步骤是：    (1) 按MgO‑ Al2O3‑ SiO2玻璃粉体中各氧化物的量计算称量六水硝酸镁、九水硝酸铝和正硅酸乙酯；    (2) 将六水硝酸镁、九水硝酸铝分别溶于无水乙醇，乙醇用量达到使六水硝酸镁、九水硝酸铝溶解：将硝酸镁和硝酸铝溶液加入到正硅酸乙酯中并搅拌，使混合溶液预水解10分钟；    (3) 将上述溶液在80℃~90℃水浴，搅拌形成透明溶胶，静止后形成凝胶；    (4) 将凝胶在60℃~70℃干燥，球磨3~4小时，得到干凝胶粉；    (5) 将得到的干凝胶粉在650℃~750℃煅烧，得到MgO‑ Al2O3‑ SiO2玻璃粉。