多晶硅四面四角的磨削方法

摘要

本发明提供一种多晶硅四面四角的磨削方法，其主要是将一对杯形砂轮沿横向轴相对设置，使两个所述杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间，并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时，输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削，当所述多晶硅进至所述内环调整空间时，令所述多晶硅绕其纵向轴旋转以转换到另一待磨削面或待磨削角，并从所述内环调整空间内送出所述多晶硅，以使其通过所述外环磨削空间时再进行另一双面或双角的磨削，如此以简化了现有技术中的磨削过程，并确保该多晶硅的精确磨削尺寸，进而提高了工作效率以及该多晶硅的品质。

主权项

一种多晶硅四面四角的磨削方法，其特征在于：将一对具有环形磨削面的杯形砂轮沿横向轴相对设置，使所述二杯形砂轮之间形成一外环磨削空间以及一内环调整空间，并在所述二杯形砂轮绕横向轴旋转时，输送所述多晶硅通过所述外环磨削空间进行双面或双角磨削，当所述多晶硅进至所述内环调整空间时，令所述多晶硅绕其纵向轴旋转预设角度，并自所述内环调整空间送出所述多晶硅，以使其通过所述外环磨削空间时进行另一双面或双角磨削；其中，所述多晶硅具有分别相对的第一对待磨面、第二对待磨面、第一对待磨角、以及第二对待磨角；所述二杯形砂轮的环形磨削面之间的间距小于所述多晶硅的二相对待磨面之间的间距；所述多晶硅自外部通过所述外环磨削空间时对第一对待磨面进行磨削；所述多晶硅自所述内环调整空间通过所述外环磨削空间时对第二对待磨面进行磨削；所述二杯形砂轮的环形磨削面之间的间距小于所述多晶硅的二相对待磨角之间的间距；所述多晶硅自外部通过所述外环磨削空间时对第一对待磨角进行磨削；所述多晶硅自所述内环调整空间通过所述外环磨削空间时对第二对待磨角进行磨削；所述内环调整区的横向宽度大于所述多晶硅断面的对角线长度；所述内环调整空间的纵向高度大于所述多晶硅的高度；所述预设角度为90度。