发明名称 用于线锯的线引导件的夹具组件
摘要 本发明涉及用于线锯的线引导件的夹具组件。公开了一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件。公开了轴侧连接器,其适合于连接到线锯的轴,该轴具有旋转轴线。轴侧连接器包括外表面,其与轴线垂直并且适合于抵靠线引导件的互补连接器的互补外表面。锥表面在外表面与轴线之间,锥表面被绕轴线对称地布置,并且适合于抵靠线引导件的互补表面。
申请公布号 CN103056977A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201210415368.5 申请日期 2012.10.22
申请人 应用材料瑞士有限责任公司 发明人 安德烈亚斯·施密特;纪尧姆·麦卡;亚历山大·米塔兹
分类号 B28D7/04(2006.01)I;B28D5/04(2006.01)I 主分类号 B28D7/04(2006.01)I
代理机构 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 代理人 王安武
主权项 一种夹具组件,其用于连接到用于切割晶片的线锯的圆柱形线引导件(321),所述夹具组件包括:轴侧连接器(50、502、505),其适合于连接到线锯的轴,所述轴具有旋转轴线(10),其中,所述轴侧连接器(50、502、505)包括:外表面(30),其与所述轴线(10)垂直并且适合于抵靠所述线引导件(321)的互补连接器(51、503、504)的互补外表面(31),以及在所述外表面(30)与所述轴线(10)之间的锥表面(40),所述锥表面(40)被绕所述轴线(10)对称地布置并且适合于抵靠所述线引导件的互补表面(41)。
地址 瑞士洛桑市