发明名称 |
一种倒装光子晶体LED芯片及其制造方法 |
摘要 |
本发明提供一种倒装光子晶体LED芯片的制造方法,包括:提供初始衬底,所述初始衬底包括外延生长面和出光面;在所述初始衬底的外延生长面进行纳米压印工艺,形成纳米级图形化衬底;在所述纳米级图形化衬底的外延生长面上形成倒装LED结构;在所述纳米级图形化衬底的出光面进行纳米压印工艺,形成倒装光子晶体LED芯片。由于在出光面形成了光子晶体结构,使得光出射率提高,提高LED的发光效率。 |
申请公布号 |
CN103066178A |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201210588034.8 |
申请日期 |
2012.12.29 |
申请人 |
映瑞光电科技(上海)有限公司 |
发明人 |
武乐可 |
分类号 |
H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/20(2010.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种倒装光子晶体LED芯片的制造方法,包括:提供初始衬底,所述初始衬底包括外延生长面和出光面;在所述初始衬底的外延生长面进行纳米压印工艺,形成纳米级图形化衬底;在所述纳米级图形化衬底的外延生长面上形成倒装LED结构;在所述纳米级图形化衬底的出光面进行纳米压印工艺,形成倒装光子晶体LED芯片。 |
地址 |
201306 上海市浦东新区临港产业区鸿音路1889号 |