发明名称 一种倒装光子晶体LED芯片及其制造方法
摘要 本发明提供一种倒装光子晶体LED芯片的制造方法,包括:提供初始衬底,所述初始衬底包括外延生长面和出光面;在所述初始衬底的外延生长面进行纳米压印工艺,形成纳米级图形化衬底;在所述纳米级图形化衬底的外延生长面上形成倒装LED结构;在所述纳米级图形化衬底的出光面进行纳米压印工艺,形成倒装光子晶体LED芯片。由于在出光面形成了光子晶体结构,使得光出射率提高,提高LED的发光效率。
申请公布号 CN103066178A 申请公布日期 2013.04.24
申请号 CN201210588034.8 申请日期 2012.12.29
申请人 映瑞光电科技(上海)有限公司 发明人 武乐可
分类号 H01L33/20(2010.01)I;H01L33/00(2010.01)I 主分类号 H01L33/20(2010.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 郑玮
主权项 一种倒装光子晶体LED芯片的制造方法,包括:提供初始衬底,所述初始衬底包括外延生长面和出光面;在所述初始衬底的外延生长面进行纳米压印工艺,形成纳米级图形化衬底;在所述纳米级图形化衬底的外延生长面上形成倒装LED结构;在所述纳米级图形化衬底的出光面进行纳米压印工艺,形成倒装光子晶体LED芯片。
地址 201306 上海市浦东新区临港产业区鸿音路1889号