利用法尔贴效应的MEMS角速度传感器的温度稳定性能保障的有源恒温控制装置及方法

摘要

本发明涉及用MEMS角速度芯片内的利用法尔贴效应的有源恒温控制方法来控制MEMS角速度传感器内的温度，使其保持稳定的相对恒定的恒温状态的同时使MEMS角速度传感器内的密闭室的温度变化的速度保持在非激烈变化的状态，从而改善MENS角速度传感器的在不同的温度环境使用时的温度特性，保障MEMS角速度信号输出精度的方法及装置。MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化的控制方法。

主权项

MEMS角速度传感器的放置感应角速度感应微小机械的密闭空间的利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化的控制方法。是同时监视放置感应角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度，同时参考MEMS应用的环境状态不同时间段的温度值，并且，根据放置角加速度感应微小机械的密闭空间内及MEMS角速度传感器外的环境温度的温差，内外温度的变化速度及内外传热的量的大小，对放置角加速度感应微小机械的密闭空间利用法尔贴效应的冷却片进行温度变化的控制，使感应角速度的微小机械保持其工作温度相对稳定恒定的状态，使MEMS角速度传感器的温度变化速度不至于过于激烈，从而保证MEMS角速度传感器的输出信号的精度。