| 发明名称 | 用于真空器件的真空保持系统 | ||
| 摘要 | 本实用新型涉及真空器件的真空保持技术领域，公开了一种用于真空器件的真空保持系统，所述真空保持系统包括：吸气剂元件、固定部和真空阀，所述吸气剂元件安装在所述固定部上，所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。本实用新型所设计的真空保持系统体积小，成本低。 | ||
| 申请公布号 | CN202905649U | 申请公布日期 | 2013.04.24 |
| 申请号 | CN201220543826.9 | 申请日期 | 2012.10.23 |
| 申请人 | 北京市北分仪器技术有限责任公司 | 发明人 | 张扬;李玉江;张文凭;王怀德;陈智勇;唐松;高松海 |
| 分类号 | H01J7/14(2006.01)I;H01J7/18(2006.01)I | 主分类号 | H01J7/14(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人 | 王莹 |
| 主权项 | 一种用于真空器件的真空保持系统，其特征在于，所述真空保持系统包括：吸气剂元件、固定部和真空阀，所述吸气剂元件安装在所述固定部上，所述真空阀连接于所述固定部与所述真空器件之间。 | ||
| 地址 | 100095 北京市海淀区北清路160号99号楼4-5层 | ||