带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法及其设备

摘要

本发明属于传感器检测方法的技术领域，具体涉及一种带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法及其设备，解决了现有带真空参考腔传感器的检漏方法检测准确性低、存在漏检现象，而且只能对单只产品检测、检测效率低的问题。检漏方法，步骤为：对需检测的产品进行输出信号测量；将多只产品装入加压罐内，密封加压罐，将加压罐内的空气抽空，充氦气，压力保持，排空氦气，测量产品的输出信号，将加压前后的输出信号进行对比。设备包括可放置若干待测产品的加压罐，加压罐上设置管路与氦气瓶、压力仪表、压力开关以及真空泵连接。本发明具有如下有益效果：检测准确率高；缩短了工艺周期，适合于批量生产。

主权项

一种带真空参考腔的传感器真空腔检漏方法，其特征在于具体步骤如下：1）、对需检测的产品进行输出信号测量；2）、将多只产品装入加压容器内，密封加压容器，加压容器预留管路和压力仪表、压力开关、氦气来源及真空泵连接；3）、利用压力开关以及真空泵先将加压容器内的空气抽空，加压容器内压力低于50hPa；4）、切断真空泵管路，连接氦气来源管路，将氦气充入加压容器内，压力保持在产品的测量上限至1.2倍的测量上限范围内；5）、压力保持100‑360小时；6）、排空加压容器内的氦气，并多次充入空气并排空，使产品内部无氦气残留；7）、在与步骤1）测量条件相同的条件下测量产品的输出信号；8）、将加压前后的输出信号进行对比，差值趋于0，则真空腔不漏气，否则为真空腔漏气，通过计算确定真空腔的泄漏率。