探针装置

摘要

本发明提供一种探针装置，能够尽可能地减小探针相对于探针保持架的位移量的差，进行准确的试验。在探针装置中，将结合组件组装到支承组件的下侧的组装装置包括：凹部，其形成在结合组件和支承组件中的任一方；连结构件，其与该凹部嵌合；第1螺纹构件，其用于将该连结构件组装到结合组件或支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿连结构件而与结合组件和上述支承组件中的另一方螺纹配合。

主权项

一种探针装置，其特征在于，包括：支承组件；结合组件，其被配置在该支承组件的下侧；组装装置，其用于将该结合组件组装到上述支承组件的下侧；探针组装体，其包括具有前端针尖和后端针尖的多个探针和配置有该探针的探针保持架，且上述探针以在左右方向上隔开间隔地沿前后方向延伸的状态配置在上述探针保持架上，并组装在上述结合组件的下侧，上述组装装置包括：凹部，其形成于上述结合组件和上述支承组件中的任一方；连结构件，其嵌合在该凹部中；第1螺纹构件，其用于将该连结构件组装到上述结合组件或上述支承组件上；第2螺纹构件，其沿上下方向贯穿上述连结构件而与上述结合组件和上述支承组件中的另一方螺纹配合。