发明名称 |
光开关和光开关阵列 |
摘要 |
本发明实施例公开了一种光开关,其包括:半导体衬底,其包括第一转动部和设置在所述转动部两端的第一扭转梁,所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动;微反射镜,其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面;第一锁定结构,其设置在所述第一扭转梁表面,且包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源,所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场,所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑,以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。本发明实施例还进一步公开了一种光开关阵列。 |
申请公布号 |
CN102262293B |
申请公布日期 |
2013.04.24 |
申请号 |
CN201010190130.8 |
申请日期 |
2010.05.27 |
申请人 |
华为技术有限公司 |
发明人 |
温运生;赵峻;陈庆华;张海霞;吴文刚 |
分类号 |
G02B26/08(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/08(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种光开关,其特征在于,包括:半导体衬底,其包括第一转动部和设置在所述第一转动部两端的第一扭转梁,所述第一扭转梁用于带动所述第一转动部进行转动;微反射镜,其设置在所述半导体衬底的第一转动部的表面;第一锁定结构,设置在所述第一扭转梁,其包括形态自适应重塑FSR材料层和热场源,所述热场源用于为所述FSR材料层提供热场,所述FSR材料层用于在所述热场作用下发生形态重塑,以将所述第一转动部和所述微反射镜锁定在转动后的位置。 |
地址 |
518129 广东省深圳市龙岗区坂田华为总部办公楼 |