一种二维长距离无摩擦运动的气浮装置

摘要

一种二维长距离无摩擦运动的气浮装置，包括平面运动气浮装置和直线导轨系统，平面运动气浮装置包括支撑部件和气浮随动部件，支撑部件包括两块上挂板、横向导轨滑块和一对纵向气浮轴，气浮随动部件包括一个气浮座、横向气浮套、一对纵向气浮套、横向气浮轴和下挂架，检测部件包括横向位移传感器和纵向位移传感器，导轨系统包括横向线性模组、横向导轨横梁、纵向导轨滑块和纵向导轨；横向导轨滑块可滑动地安装在横向线性模组上，横向线性模组安装在横向导轨横梁上，横向导轨横梁的两端固定在纵向导轨的纵向导轨滑块上，纵向导轨滑块可滑动地安装在纵向导轨上。本实用新型实现大位移长距离随动运动。

主权项

一种二维长距离无摩擦运动的气浮装置，其特征在于：包括平面运动气浮装置和直线导轨系统，所述平面运动气浮装置包括支撑部件和气浮随动部件，所述支撑部件包括两块上挂板、横向导轨滑块和一对纵向气浮轴，所述气浮随动部件包括一个气浮座、横向气浮套、一对纵向气浮套、横向气浮轴和下挂架；所述两块上挂板固定在横向导轨滑块上，所述两根纵向气浮轴平行安装在所述两块上挂板之间上，所述纵向气浮套套装在纵向气浮轴上，所述气浮座与横向气浮套、纵向气浮套密封连接，所述横向气浮套套装在横向气浮轴上，所述横向气浮套通过气浮座密封连接且与纵向气浮轴空间上呈90°所述下挂架两端固定在横向气浮轴上；所述直线导轨系统包括、纵向导轨滑块、横向线性模组、纵向线性模组、横向导轨横梁和用于控制横向导轨滑块和纵向导轨滑块的运动的电机驱动系统；所述横向滑块可滑动地安装在横向线性模组上，所述横向线性模组安装在横向导轨横梁上，所述横向导轨横梁的两端固定在纵向导轨的纵向导轨滑块上，所述纵向导轨滑块可滑动地安装在纵向线性模组上。