具有高精密度之位移感测干涉仪

摘要

本发明之具有高精密度之位移感测干涉仪，其包含一光源与准直系统、一量测镜与位移模组、一参考镜与讯号处理模组；该光源与准直系统产生一雷射光束并部份透射该量测镜，该雷射光束再由该参考镜反射，而于该参考镜与该量测镜间形成多重反射，之后于该参考镜后互相叠合而形成干涉。该参考镜后之干涉条纹由一讯号处理模组之一分光器将具有干涉条纹的雷射光束分成两光束，并藉不同相位差之感测与提出之数学分析模式，将可以判断该量测镜之位移方向及高精密位移量。