真空电引入装置

摘要

一种真空电引入装置，适宜安装在一真空腔体的一真空接头上，且提供一大气侧与一真空侧之间的电性引入，该真空电引入装置包含一定位座、一固设在该定位座外部的承座、一安装在该定位座与该承座之间的防漏件及多数呈气密地分别穿设在该定位座的多数穿孔中的传输杆。该真空电引入装置的制造、组配工序少、制造组配容易、体积小，且可降低制造成本。